型号

DK-1800

DK-2000

DK-3000

DK-2000

DK-3000

DK-4000

LHW-5000

真空室尺寸：mm

φ1800x2000

φ2000x2000

φ3000x3000

φ2000x6000

φ3000x6000

φ4000x8000

φ5000x10000

真空室机构

立式开门、吊装或卧室推车结构配置抽气系统及水冷系统

真空获得系统

维持泵+机械泵+罗茨泵+扩散泵或分子泵（具体型号可根据客户的要求进行配置）

真空测量系统

一台皮拉尼（MKS） 一台冷阴极（MKS）一台薄膜规（MKS）

真空机组

机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵

镀膜系统

电弧蒸发源、镀膜辅助离子专用电源

充气系统

质量流量计

质量流量计

质量流量计

质量流量计

质量流量计

质量流量计

质量流量计

电源类型

直流电源、中频电源、脉冲电源（偏压电源、弧电源）

极限真空指标

5.0x10-4Pa

5.0x10-4Pa

5.0x10-4Pa

5.0x10-4Pa

5.0x10-4Pa

5.0x10-4Pa

5.0x10-4Pa

电弧源

22台-28台

22台-28台

26台-32台

26台-32台

32台-48台

32台-48台

32台-48台

200A-300A

200A-300A

200A-300A

200A-300A

200A-300A

200A-300A

200A-300A

偏压电源

60KW/台

60KW/台

70KW/台

70KW/台

80KW/台

80KW/台

100KW/台

磁控电源

——

——

——

——

——

——

——

工作烘烤温度

常温-至450℃可控可调（PID温控）

工艺气体

3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统

氩气、氮气、氧气、乙炔等

冷却方式

水冷却循环方式，另配工业冷却水塔或工业冷水机（制冷机）或深冷系统。（客户提供）

控制方式

PLC+触摸屏操作或计算机控制，手动、半自动、自动方式

供给指标

气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa

整体总功率

165-185KW

185-200KW

200-225KW

225-245KW

245-265KW

265-300KW

265-300KW

输出频率

电压380V±5%，频率50HZ（可根据客户国家用电标准配置）

设备占地面积

25～55㎡

35～55㎡

35～55㎡

45～55㎡

45～55㎡

55～75㎡

55～75㎡

备注

以上设备参数仅做参考，具体均按客户实际工艺要求设计定做