真空室尺寸

1200×1500mm

1400×1600mm

1600×1800mm

1800×2000mm

2000×1950mm

制膜种类

半透明膜、金、银、红、蓝、绿、灰、黑、七彩等多种颜色

电源类型

直流磁控溅射电源、高压离子轰击电源、可控硅电源，脉冲偏压电源

真空室结构

立式双开门、立式单开门、卧式单开门、抽气系统

真空系统

机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵（或选配：深冷系统）

极限真空

8×10-4 pa（空载、净室）

抽气时间

空载大气抽至5×10-2pa小于6分钟

工件旋转方式

6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速

控制方式

手动＋半自动＋全自动一体化/触摸屏＋PLC

备注

真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做